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计量校准光栅

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   光栅是一种在基体上刻制有等间距均匀分布条纹的光学元件,用于位移测量的光栅称为计量光栅。计量校正光栅具有较高的分辨率<=1um),测量范围大(几乎不受限制),动态范围宽,容易实现数字化仪器校准测量和自动控制等特点,在数控机床和精密测量中有着广泛的应用。但它对使用环境要求较高,在工业现场使用时要求密封和防止油污、灰尘、铁屑等。在工业控制系统中使用的计量光栅又以透射式光栅为多,图6-14所示为透射式光栅的示意图。

 

 

 

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